台式扫描电镜

一、SS-60台式扫描电镜技术特点：

（1）放大倍率6万倍（Magnification Max 60,000x）

（2）采用二次电子和背散射电子探测器（可选）（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector optional）

（3）1KV~30KV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30Kv，High image resolution）

（4）通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）

（5）冷却台的安装可在无前处理情况下对水分取样分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)

（6）高/低真空配置缩短前处理过程（High&Low Vacuum System）

（7）CCD摄像头的安装可对载物台内部观察（The CCD camera is mounted to view the inside of the stage）

（8）Tilt（0~45）载物台配置（可选择）（Tilt Stage configuration( optional)）

二、特性：

（1）台式扫描电镜,体型小巧,占用空间小；

（2）强大的软件功能,单窗口操作界面让用户操作方便简单；

（3）软件实现检测图形实时存储；

（4）扫描电镜产品结构设计简洁,易于维护及保养；

（5）自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品；

（6）高低压真空设计,可调式电压,为不同样品提供更合适的检测环境。

三、主要参数：

主体参数

1.分辨率：15nm (30kV, SE Image)

2.放大倍率：20~60,000 X

3.加速电压：1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

图像检测

1.背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image

2.二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image

观察模式

1.Standard Mode 标准模式

2Charge-up reduction mode 递减模式

电子枪系统

1、灯丝类型：预对中钨灯丝

2、偏压系统：自动偏压方式

3、电子枪校正：手动方式

透镜构成

1、聚光镜：2段式磁线圈透镜

2、物镜：1段式磁线圈物镜

3、探测器类型：SE Detector/ BSE Detector

4、载物台系统：手动

5、载物台移动：3轴手动

6、图像偏移：Image shift X, Y Image Shift (±150um)

7、*样品尺寸：高度40mm时直径80mm

8、图像扫描：

快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

9、*自动功能：自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节

10、图像存储格式：BMP, JPEG, PNG,TIFF

11、*数据显示：放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等

12、真空系统：

高真空模式

（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

抽真空时间：3分钟以内

四、环境要求：

1、附近不要有电梯电磁干扰和有震动的设备，不要有水源，220V稳压，50Hz
2、环境不要震动和磁干扰，温度25左右，湿度60以下