镀层测厚仪

一、iEDX-150T镀层测厚仪主要参数:

1、多镀层分析，1～5层(不含基材）；

2、测试精度：0.001 μm；

3、元素分析范围从铝(Al)到铀(U)；

4、测量时间：10~30秒；

5、SDD探测器，能量分辨率为125±5eV；

6、探测器Be窗0.5mil（12.7μm）；

7、微焦X射线管50kV/1mA，钼，铑靶（高配微焦钼靶）；

8、标配6个准直器及多个滤光片自动切换；

9、XYZ三维全自动移动平台，荷载最*大为5公斤；

10、高清CCD摄像头（200万像素），准确监控位置；

11、多变量非线性去卷积曲线拟合；

12、高性能FP/MLSQ分析；

13、仪器尺寸：618×525×490mm；

14、样品台尺寸：230×220mm；

15、样品台移动范围：前后左右各80mm、高度90mm；

16、样品仓尺寸：395×400×102mm。

二、图谱界面:

1、软件支持无标样分析；

2、宽大分析平台和样品腔；

3、集成了镀层分析界面和合金成份分析界面；

4、采用多种光谱拟合分析处理技术；

5、镀层测厚分析精度可达到0.001μm。

三、分析报告结果:

1、直接打印分析报告；
2、报告可转换为PDF，EXCEL格式。

四、iEDX-150T镀层测厚仪样品分析图谱:

测试结果界面: